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微電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計是一項綜合技術(shù),它與其他工業(yè)廠房裝修設(shè)計有類似之處,但也有一些特殊之處。其主要特點如下:
一、要根據(jù)生產(chǎn)產(chǎn)品的特點,確定技術(shù)要求。如空氣潔凈等級、防微振、高純物質(zhì)等要求是不同的,應(yīng)按具體情況確定。
二、為確保潔凈室內(nèi)所必須的潔凈度,各個專業(yè)均要求不引入或少引入污染物,不產(chǎn)生和少產(chǎn)生污染物,不滯留或少滯留污染物。
三、潔凈廠房的設(shè)計是各專業(yè)設(shè)計技術(shù)的綜合,要求各專業(yè)密切協(xié)同,相互滲透和合理安排。
四、潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)確保安全生產(chǎn)和環(huán)保要求。各專業(yè)設(shè)計必須滿足消防防火要求。同時由于微電子工業(yè)的生產(chǎn)特點,生產(chǎn)過程中產(chǎn)生出一些廢水、廢氣,必須經(jīng)過特殊處理達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排放。
五、微電子工業(yè)發(fā)展日新月異,潔凈廠房本身是一個技術(shù)密集、資金密集的產(chǎn)物,投資非常巨大,這就要求潔凈廠房的設(shè)計要考慮一定的靈活性,以便產(chǎn)品換代時方便地進(jìn)行技術(shù)改造。
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