對(duì)于微電子、半導(dǎo)體、精密機(jī)械等制造領(lǐng)域，深圳廠房裝修從空氣潔凈方面要實(shí)現(xiàn)若干主要指標(biāo)，如空氣中的塵埃粒子和細(xì)菌數(shù)、溫濕度和壓力的控制范圍，還要附帶除去特定的影響工藝的有害物質(zhì)和臭氣等。為達(dá)到相關(guān)的生產(chǎn)過(guò)程，應(yīng)該同時(shí)從技術(shù)上滿足一下要求：低噪聲、低震動(dòng)、防靜電作用、高精度的溫濕度控制、氣體和水的高純度、潔凈服飾和潔凈輔助設(shè)施、化學(xué)污染的防止、監(jiān)測(cè)和管理等。

以生產(chǎn)256Mbit的工業(yè)潔凈室為例，應(yīng)達(dá)到一下所有標(biāo)準(zhǔn)，芯片生產(chǎn)的另一個(gè)顯著特點(diǎn)是工業(yè)過(guò)程復(fù)雜，集成度越高，工藝程序越多，多達(dá)數(shù)百工藝，依靠人工是不能實(shí)現(xiàn)的。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，對(duì)于常規(guī)的半導(dǎo)體芯片工廠，其全年能耗為辦公樓的15倍。工廠使用的能源70-80%位電力，其中生產(chǎn)設(shè)備用電占4成，空調(diào)設(shè)備用電占4成，其他為照明、純水制備、廢水處理等。而空調(diào)設(shè)備用電量中，50%為冷熱源耗電，25%為空氣和水的輸送動(dòng)力耗電。工藝設(shè)備中則以擴(kuò)散工藝為甚，其散發(fā)的熱量就構(gòu)成了空調(diào)的冷負(fù)荷?？照{(diào)輸送能耗則主要因?yàn)闈崈魪S房的換氣次數(shù)太高，隨著工藝的超凈化，最高換氣次數(shù)可達(dá)600次/時(shí)。所以上世紀(jì)開(kāi)始，其他國(guó)際對(duì)芯片生產(chǎn)的潔凈廠房設(shè)計(jì)不斷進(jìn)行改進(jìn)，其主要變化不斷更新。