在深圳廠房裝修電子工業(yè)中廣泛采用各種化學(xué)物質(zhì)對晶園和設(shè)備進(jìn)行酸洗和沖洗。SEMI國際機(jī)構(gòu)和其他機(jī)構(gòu)對潔凈度提出了要求。大部分企業(yè)都定制了本企業(yè)的工藝介質(zhì)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

液體潔凈度水平應(yīng)該達(dá)到1ppb，即十億分之一。這就意味著十億物質(zhì)分子中一個(gè)雜質(zhì)分子。

工藝液體與去離子水不同，是由專業(yè)工廠制造并桶裝供應(yīng)，運(yùn)輸隔離箱是用不溶解的物質(zhì)制成，不產(chǎn)生粒子。

微電路生產(chǎn)所應(yīng)用的液體，可分裝成小包裝或者用管道配送到使用點(diǎn)。

液體用管道及其將液體從一個(gè)容器分裝到另一個(gè)容器均是要求極為嚴(yán)格的操作。要求特別加以注意的是，其中包括防止交叉污染。

最近出現(xiàn)了直接與使用點(diǎn)相連接的工藝液體制備裝置，采用此項(xiàng)工藝后，可以取消運(yùn)輸工序，不需要將液體從一個(gè)隔離箱轉(zhuǎn)至另一個(gè)隔離箱，以及不需要配送，由此可以是潔凈度水平達(dá)到萬億分之一。