微電子廠房風機過濾單元送風方式由哪幾部分組成？

作者：宏偉裝飾來源：wap.free-thoughts.org.cn時間：2016-11-22 22:34:34字體：[ 大中小 ]

風機過濾單元送風方式主要由新風處理空調機組、潔凈室吊頂上安裝的風機過濾單元機組（Fan Filter Unit 簡稱 FFU）、處理潔凈室內負荷的干式表冷器盤管、送、回風靜壓箱、回風夾道等構成。這種方式不需要配置凈化循環(huán)空調機房，送風靜壓箱為負壓?？諝庥?FFU 送到潔凈室，從回風靜壓箱經兩側夾道回至送風靜壓箱，在回風夾道設干式表冷器處理潔凈室內負荷。新風處理機可集中設在空調機房內，處理后新風直接送入送風靜壓箱。

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此文關鍵詞：風機過濾單元送風方式

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